掲載日：2021.11.1
世界初！非破壊計測実現 高アスペクトな微細穴・溝測定可能
（株）小坂研究所 微細穴三次元形状測定機 型式 FP3030/FP-Labo
近年の精密微細加工技術の進歩に伴い、シリコン貫通電極・MEMSなどの微細形状を精密に測定する重要性が高まり、中でも立体的で微細な三次元形状を精密に測定するニーズが増加しています。
直径5um極小径の光ファイバ接触式プローブを用いることにより、10umの穴や溝を有する微細形状を数nmの分解能で測定可能な新商品です。
微細穴三次元形状測定機の詳細はこちらのカタログ（PDF）をご覧ください。
主な特長
- 微細穴φ10um~/深さ~300umの穴内部形状を測定、可視化。
- 微小な挙動を高精度で検出する画期的な検出系を開発。
- 接触による破損から解放される高弾性ファイバスタイラス使用。
