掲載日:2020.8.26
エレクトロメータは、高入力インピーダンスの直流増幅回路技術を基本として、直流電圧、直流電流、抵抗、電荷などを測定する直流マルチメータです。
エレクトロメータの入力回路の入力インピーダンスは、1013〜1015Ωと非常に高く、また入力バイアス電流は、10-11〜10-17A以下であり、一般のデジタル・マルチメータに比べ3桁以上の高性能を有しています。
このような高性能の入力回路の実現には、
(1)振動容量型増幅器
(2)電界効果トランジスタ直結型増幅器
(3)低周波パラメトリック増幅器
などがあり、エーディーシーのエレクトロメータは(2)の方式が採用されています。
エレクトロメータの主な測定機能は、
(1)入力インピーダンスが1013〜1015Ωの直流電圧計
(2)10-11〜10-15Aの検出感度をもつ微小電流計
(3)1011〜1017Ωの測定ができる高抵抗計、および絶縁抵抗計
(4)10-14〜10-15Cの検出感度をもつ電荷計
などがあります。
以上のような測定範囲をもつエレクトロメータは、半導体の評価、絶縁物や高分子材料の研究、コンデンサなど電子部品の試験、放射線測定などに広く利用されており、その測定に適した試料箱、テスト・フィクスチャなどをとりそろえてあります。
また、このような高感度の測定には、一般のシールド・ケーブルでは、ケーブル内で発生する電荷や絶縁抵抗が問題となりますので、専用の低雑音ケーブルが用意されています。
1.直流電圧計
2.直流電流計
2-1.シャント方式
2-2.フィードバック方式
2-3.可変ゲイン・フィードバック方式
2-4.積分方式
3.高抵抗および絶縁抵抗計
3-1.絶縁物に流れる電流
3-2.シート状、板状材料の体積抵抗(率)・表面抵抗(率)の測定
4.電荷計
5.電離箱による放射線線量率の測定
こちらで詳しく説明しています。
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